真空泵有哪几种

按照原理分类

气体输送泵：顾名思义，气体输送泵就是将一个密闭空间内的气体输送至外部或其他容器内的机器，从而使封闭空间内气压降低，获得真空，例如水环泵、无油柱塞泵、旋片油封泵等。

气体捕集泵：是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面的真空泵，一般采用化学或物理化学的方法将气体体积减小，从而获得真空。

按照真空度分类

粗真空度：工业及实验室使用的水环式真空泵就是此类粗真空度泵，一般真空度为10E5~10E-1 Pa。

高真空度：常用的油封泵为这类级别，一般真空度为10E-1~10E-6 Pa。

超高真空度：气体捕集泵一般为这种类型，真空度能够达到10E-6~10E-9 Pa。