臭氧是一种强氧化剂，灭菌过程属于生物化学氧化反应。其原理如下：1、臭氧能氧化分解细菌内部葡萄属糖所需的酶，使细菌灭活死亡。2、直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。3、透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。
什么是臭氧：臭氧是氧气的一种同素异形体，化学式是O3.式量47.998.有鱼腥气味的淡蓝色气体。臭氧有强氧化性，是比氧气更强的氧化剂，可在较低温度下发生氧化反应，如能将银氧化成过氧化银，将硫化铅氧化成硫酸铅、跟碘化钾反应生成碘。松节油、煤气等在臭氧中能自燃。有水存在时臭氧是一种强力漂白剂。跟不饱和有机化合物在低温下也容易生成臭氧化物。用作强氧化剂，漂白剂、皮毛脱臭剂、空气净化剂，消毒杀菌剂，饮用水的消毒脱臭。
使用臭氧消毒的注意事项：1、臭氧对人体呼吸道粘膜有刺激，故消毒用臭氧消毒空气，必须是在人不在的条件下，消毒后至少过30分钟才能进入。2、臭氧为强氧化剂，对多种物品有损坏，浓度越高对物品损坏越重，可使铜片出现绿色锈斑、橡胶老化，变色，弹性减低，以致变脆、断裂，使织物漂白褪色等。
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